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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品专用于光刻机、蚀刻机、真空腔体的内衬材料，该陶瓷材料凭借耐腐蚀性、高纯度与热稳定性，保障了芯片制造过程的精密与可靠。
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泰州市冠鑫半导体新材料有限公司
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